PRECITEC LR Optical Sensor

超精密表面用光学センサー

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難易度の高い表面輪郭や材質でも優れた測定品質を実現。PRECITEC方位分解能(LR)は、粗さや層厚さを含む極めて多数の用途のためのマルチなホワイトライトレーザー検査ソリューションです。

接触プロービングや三次元測定機(CMM)のスキャニング機能に非接触センサーの選択肢を加え、PRECITEC LRはより完璧な測定ソリューション用のマルチセンサー構成の一部として接触プローブと自動的交換が可能です。

PRECITEC LRは、艶消し、反射、コーティング表面、プラスチック、ガラス、透明材質などを含む非常に複雑な表面でも、収束されたホワイトライトを使用して測定をする高精度の光学センサーです。

接触測定技術が限界に近づいた時に光学センサーが代役を務めます。超高精度のLeitz PMM-C, Leitz Ultra あるいは Leitz Inﬁnity CMMsとの併用に最適です。PRECITEC LR光学センサーはサブミクロン単位で非常に正確です。大きな受光角度を備え、大きく傾斜した表面の計測に最適であると同時に非接触測定方式は壊れやすい部品にうってつけです。

製品特長

多くの表面形状に効果的
PRECITEC LRは、表面形状の種類を問わず、超高精度の測定結果を実現。分散、反射、傾斜、非球面の表面検査も可能にします。

高軸分解能
優れた長手方向の分解能は、複雑な構造や自由形状のワークに対し高品質の測定を保証します。

非接触検査方式
非接触の測定により、壊れやすい、軟弱な材質の測定をワーク表面を引っ掻いたり傷つけたりすることなく検査可能です。

大きな受光角度
90° ± 40°の測定角度により、大きく傾斜した表面の測定で部品へのより優れたアプローチとプログラム効率を達成できます。

小さなスポット径
1.4 μmのスポット径は、高い方位分解能を実現。センサーによる光学粗さ測定の対応が可能です。

フル測定レンジに対応
PRECITEC LRの測定域はCMMの測定域と一致しますので極めて大型の重量物でも測定が可能です。

シームーレスなマルチセンサー化
接触センサーと比較して操作に違いがなく、測定プロセス内でプローブ方式の自動切り換えが可能。オペレータに余分な作業負荷はかかりません。

テクニカルデータ

Beam direction	0° and 90°
Measurement range	100 μm
Measuring distance	6.5 mm
Resolution in Z	3 nm
Spot diameter	1.4 μm
Lateral resolution	0.7 μm
Numeric aperature	0.66
Laser class	1
Measuring angle	Up to 90° ± 40°
Dimensions	L = 158 mm D = 30 mm
Software	QUINDOS