CROMA

クロスビームとＺ軸に硬質の陽極酸化エアロメタルを採用、オールアルミ構造との併用により、温度安定性を確保します。移動部分の質量や慣性力も削減、高速移動中の高精度を達成します。
特許の精密三角ビームの採用により、重心位置、剛性の向上、長方形クロスビームタイプに比べ、より信頼度の高い動作が特長です。

Ｙ軸に一体型、ダックテール式ガイドウェイを採用、機械重量と移動中のねじれを軽減し、測定精度と安定性を確実にします。

３軸とも高精度セルフクリーニングエアー ベアリングの採用で、ガイドウェイの摩耗のない滑らかな移動を実現 。

３軸すべてに欧州製の高精度光学スケール,  システム分解能は0.078μm、片側を固定、もう片方をフリーに、拡張を可能とする取付方法により、温度変化による直線的な縮小を実現し、熱変形の影響を軽減しています。

全軸DCサーボモーター駆動で、安定的な移動と高精度な位置決め。

CROMA用に特別に設計されたIDC-Iコントロールシステムが動的性能と測定精度を強化。

本機型式		CROMA 564	CROMA 686	CROMA 8106	CROMA 8126
ストローク (mm)	X	500	600	800	800
	Y	600	800	1000	1200
	Z	400	600	600	600
測定レンジ (mm)	Dx	634	734	934	934
	Dz	144	144	144	144
	Dz1	594	794	794	794
作業プレート (mm)	Ph	783	783	805	805
	Py	1155	1355	1555	1755
サポート (mm)	Sy	824	978	1178	1378
	Sy1	356	379	379	379
全体サイズ (mm)	Lx	1050	1150	1350	1350
	Ly	1535	1735	1935	2135
	Lz	2247	2647	2729	2729
最大部品荷重		300	300	300	300
本体質量 (kg)		590	730	1074	1196
MPEe (μm)		2.8 + L / 300	2.8 + L / 300	3.0 + L / 300	3.0 + L / 300
ﾌﾟﾛｰﾌﾞ/ｾﾝｻｰ	手動 または 自動
スケール分解能 μm		0.078	0.078	0.078	0.078
最大3D速度 (mm/s)		520	520	520	520
最大3D加速度 (mm/s2)		1730	1730	1730	1730
仕様空気圧		120 Nl / min, 0.45 Mpa	120 Nl / min, 0.45 Mpa	120 Nl / min, 0.45 Mpa	120 Nl / min, 0.45 Mpa
運用温度		20±2°C	20±2°C	20±2°C	20±2°C
精度保証温度:
温度変動		1°C / h - 2°C / 24h	1°C / h - 2°C / 24h	1°C / h - 2°C / 24h	1°C / h - 2°C / 24h
温度分布		1°C / m	1°C / m	1°C / m	1°C / m
湿度		45% - 75%	45% - 75%	45% - 75%	45% - 75%